2023年6月29日，半導體和電子行業年度盛會SEMICON China 2023在上海新國博中心盛大開幕。作為全球規模最大、最具影響力的國際半導體專業展，SEMICON China 2023將吸引世界各地主要半導體設備材料廠商，90000平方米總面積、1100多家參展企業、4200多個展位、20多場會議和活動的空前盛況也刷新了歷年記錄。

SEMICON China2023現場

(資料圖片僅供參考)

作為國內集成電路核心裝備領軍企業，萬業企業旗下嘉芯半導體和凱世通攜核心產品、關鍵技術、解決方案重磅亮相這場匯聚中外行業領軍人物和技術大咖的盛會。在E7175號展位，來自半導體產業鏈的參展嘉賓紛紛駐足參觀，現場工作人員熱情地介紹產品、與訪客友好交流，共話集成電路產業發展機遇。

萬業企業SEMICON China 2023展位

現場工作人員正在為來訪同行介紹產品

為芯“注”力：“國產離子注入機第一梯隊”凱世通重磅亮相

上海凱世通半導體股份有限公司成立于2009年，是萬業企業股份有限公司旗下的高端集成電路離子注入機裝備企業，其擁有國內首個獲得驗證驗收的國產集成電路離子注入機大束流和高能離子注入機。不斷增長的主流集成電路制造廠商訂單量也見證著行業對凱世通的認可，憑借強勁發展勢能，凱世通持續領跑國產低能大束流和高能離子注入機系列產品，已經成長為國產第一梯隊核心設備廠商。

萬業企業旗下凱世通SEMICON China 2023展位

低能大束流離子注入機iStellar-500系列產品

用途:

iStellar-500系列產品是凱世通推出的一系列低能大束流離子注入機，產品采用“通用平臺+關鍵技術模塊”研發模式，快速迭代升級并拓寬離子注入機產品線，覆蓋不同芯片對離子注入的需求，定位于為客戶提供更高可靠性、更低擁有成本的產品，并具有良好的產線工藝匹配能力和廣泛的制程覆蓋能力。

特點:

高精度注入角度控制、顆粒污染控制、實現-100°超低溫注入、主流FAB產線批量生產

高能離子注入機iStellar-HE2000

用途:

iStellar-HE2000是凱世通推出的高能大束流離子注入機產品，采用“通用平臺+關鍵技術模塊”研發模式，高壓加速、高注入角度精準度、納米級顆粒污染控制等關鍵技術，滿足芯片制造的高能離子注入需求。istellar-HE2000產品通過技術模塊持續改進，為客戶提供更高可靠性、更低擁有成本的產品。

特點:

高精度注入角度控制、顆粒污染控制、金屬污染控制、零部件國產化自主供應

用芯“嘉”持：嘉芯半導體一站式解決方案展現硬實力

嘉芯半導體設備科技有限公司成立于2021年，由萬業和全球半導體知名產業專家共同創立。現階段旗下已組成嘉芯迦能子公司、嘉芯閎揚子公司與新產品研發部三大核心板塊。嘉芯半導體將先后布局8吋/12吋半導體前道設備的研發制造，為當下主流成熟制程提供高性能的產品。目前公司已陸續向市場推出覆蓋刻蝕機、薄膜沉積、快速熱處理等多品類半導體設備，可為客戶提供一站式解決方案。

集成電路前道設備的一站式解決方案

嘉芯半導體集成電路前道設備一站式解決方案

嘉芯半導體從全流程出發，覆蓋CVD/PVD/刻蝕等主工藝設備 →真空泵→ 尾氣處理設備，為客戶構建一站式設備解決方案。

自2022下半年開始，嘉芯半導體多次中標多款設備，包含氮化硅等離子刻蝕機、金屬等離子刻蝕機、側墻等離子刻蝕機、高密度等離子薄膜沉積設備（HDP-CVD）、二氧化硅等離子薄膜沉積設備（PECVD）、摻雜硼磷二氧化硅薄膜化學沉積設備（SACVD）、鈦/氮化鈦沉積設備（MOCVD）、鋁銅金屬濺射設備（PVD）以及快速熱處理（RTP）等。

展會現場與參會嘉賓密切交流

在展會現場首日，萬業企業旗下凱世通和嘉芯半導體的集成電路前道設備產品受到了參會嘉賓高度的關注與肯定，公司也與半導體產業鏈客戶就項目合作、合作模式等進行深入探討、交流。

展會現場與參會嘉賓密切交流

在未來，萬業企業也將堅持貫徹“1+N”設備平臺模式，以凱世通離子注入機為基礎，以嘉芯半導體為產業延申觸角，多方位布局集成電路核心裝備，為更多客戶提供一站式解決方案，為集成電路設備制造國產化添磚加瓦！

本文來源：財經報道網

關鍵詞：